eskil23
Aktiv medlem
Jag är inte expert på halvledartillverkning, men tror ändå att det krävs ett extra finmekaniskt moment för att flytta wafern eller steppern när man ska exponera andra halvan av en sensoryta. Steppern kan ju inte göra det i ett svep. Sådan extrem finmekanik kan vara dyr.
Sådan mekanik är dyr i inköp, ja. Men den är inte särskilt dyr per exponering eller per kiselplatta. Den stepper som finns i Electrumlab i Kista är nog en bra bit över tio år vid det här laget, så den är nog intjänad vid det här laget. Jag är osäker på hur bra upplösning den klarar av, men jag har för mig att det är 90 nm process. Dessvärre är den Sun Sparc som styr den lika gammal och den är mitt huvudbry.